椭偏仪

椭偏仪理论

一个线偏振光束在样品表面的反射后，一般行成椭圆偏振光。
反射光的电场分量不同改变了偏振平行（P）和入射面垂直（S）的相位变化。椭偏仪测量这种两极分化的状态，或更精确复杂的比例如下：

ρ = r_p/r_s = tanΨ * exp (iΔ)

PSI和Delta分别是指对应P偏振和S偏振的振幅比和位相。椭偏仪器的参数通常是采用tan(PSI)，cos(Delta)的值，并做为椭偏仪器测量信号处理和校准中应用。反射系数是假设光学常数表面是空气（菲涅耳关系）：

r_p = ncosΦ_i - cosΦ_r / ncosΦ_i + cosΦ_r

r_i = cosΦ_i - ncosΦ_r / cosΦ_i + ncosΦ_r

当n是复折射率N = N – IK时。折射角使用斯内尔笛卡尔的定律：

sinΦi = nsinΦr

因此，如果样品是一个理想的批量，复杂的折射率的可能是计算从PSI和Delta与入射角测量出来的。
识。光学指标和一个已知的基板上的透明层的厚度也可以以同样的方式来推断。这种分析是单一波长的椭偏仪测量的特点 。